Jungmann, Markus ; Matysek, Marc ; Schlaak, Helmut F. (2004)
Technologische Realisierung und Charakterisierung von elektrostatischen Festkörperaktoren mit elastischem Dielektrikum.
Konferenzveröffentlichung, Bibliographie
Typ des Eintrags: | Konferenzveröffentlichung |
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Erschienen: | 2004 |
Autor(en): | Jungmann, Markus ; Matysek, Marc ; Schlaak, Helmut F. |
Art des Eintrags: | Bibliographie |
Titel: | Technologische Realisierung und Charakterisierung von elektrostatischen Festkörperaktoren mit elastischem Dielektrikum |
Sprache: | Deutsch |
Publikationsjahr: | 2004 |
Ort: | Berlin [u.a.] |
Verlag: | VDE-Verl. |
Reihe: | Innovative Klein- und Mikroantriebstechnik : Vorträge der ETG- /GMM-Fachtagung am 3. und 4. März 2004 in Darmstadt / wiss.Tagungsleiter: G. Huth. Veranstalter Energietechnische Gesellschaft im VDE (ETG); VDE/VDI-Gesellschaft Mikroelektronik, Mikro-u. Fe |
Fachbereich(e)/-gebiet(e): | 18 Fachbereich Elektrotechnik und Informationstechnik 18 Fachbereich Elektrotechnik und Informationstechnik > Mikrotechnik und Elektromechanische Systeme 18 Fachbereich Elektrotechnik und Informationstechnik > Institut für Elektromechanische Konstruktionen (aufgelöst 18.12.2018) |
Hinterlegungsdatum: | 20 Nov 2008 08:22 |
Letzte Änderung: | 19 Apr 2016 08:00 |
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