Schlaak, Helmut F. ; Jungnickel, Uwe ; Eicher, Dirk (2005)
Neuartige skalierbare Mikropositioniersysteme mit integrierter Kinematik.
Mikrosystemtechnik Kongress 2005. Freiburg , Germany (10.10.2005-12.10.2005)
Konferenzveröffentlichung, Bibliographie
| Typ des Eintrags: | Konferenzveröffentlichung |
|---|---|
| Erschienen: | 2005 |
| Autor(en): | Schlaak, Helmut F. ; Jungnickel, Uwe ; Eicher, Dirk |
| Art des Eintrags: | Bibliographie |
| Titel: | Neuartige skalierbare Mikropositioniersysteme mit integrierter Kinematik |
| Sprache: | Deutsch |
| Publikationsjahr: | 10 Oktober 2005 |
| Verlag: | VDE-Verl. |
| Veranstaltungstitel: | Mikrosystemtechnik Kongress 2005 |
| Veranstaltungsort: | Freiburg , Germany |
| Veranstaltungsdatum: | 10.10.2005-12.10.2005 |
| Fachbereich(e)/-gebiet(e): | 18 Fachbereich Elektrotechnik und Informationstechnik 18 Fachbereich Elektrotechnik und Informationstechnik > Mikrotechnik und Elektromechanische Systeme 18 Fachbereich Elektrotechnik und Informationstechnik > Institut für Elektromechanische Konstruktionen (aufgelöst 18.12.2018) |
| Hinterlegungsdatum: | 20 Nov 2008 08:21 |
| Letzte Änderung: | 19 Apr 2016 08:08 |
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