Mahlouji, Reyhaneh ; Zhang, Yue ; Verheijen, Marcel A. ; Karwal, Saurabh ; Hofmann, Jan P. ; Kessels, Wilhelmus M. M. ; Bol, Ageeth A. (2024)
Influence of high-κ dielectrics integration on ALD-based MoS2 field-effect transistor performance.
In: ACS Applied Nano Materials, 7 (16)
doi: 10.1021/acsanm.4c02214
Artikel, Bibliographie
| Typ des Eintrags: | Artikel |
|---|---|
| Erschienen: | 2024 |
| Autor(en): | Mahlouji, Reyhaneh ; Zhang, Yue ; Verheijen, Marcel A. ; Karwal, Saurabh ; Hofmann, Jan P. ; Kessels, Wilhelmus M. M. ; Bol, Ageeth A. |
| Art des Eintrags: | Bibliographie |
| Titel: | Influence of high-κ dielectrics integration on ALD-based MoS2 field-effect transistor performance |
| Sprache: | Englisch |
| Publikationsjahr: | 2024 |
| Verlag: | ACS Publications |
| Titel der Zeitschrift, Zeitung oder Schriftenreihe: | ACS Applied Nano Materials |
| Jahrgang/Volume einer Zeitschrift: | 7 |
| (Heft-)Nummer: | 16 |
| DOI: | 10.1021/acsanm.4c02214 |
| Fachbereich(e)/-gebiet(e): | 11 Fachbereich Material- und Geowissenschaften 11 Fachbereich Material- und Geowissenschaften > Materialwissenschaft 11 Fachbereich Material- und Geowissenschaften > Materialwissenschaft > Fachgebiet Oberflächenforschung |
| Hinterlegungsdatum: | 11 Dez 2024 07:06 |
| Letzte Änderung: | 13 Dez 2024 05:41 |
| PPN: | 524628505 |
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