TU Darmstadt / ULB / TUbiblio

Aufbau eines Motion-Analyzers zur Charakterisierung von MEMS-Strukturen

Staab, Matthias ; Eicher, D. ; Schlaak, Helmut F. (2007):
Aufbau eines Motion-Analyzers zur Charakterisierung von MEMS-Strukturen.
In: Bildverarbeitung in der Mess- und Automatisierungstechnik : Tagung Regensburg, 27. und 28. November 2007 / VDI/VDE-Gesellschaft Mess- und Automatisierungstechnik. - Als Ms. gedr. - Düsseldorf : VDI-Verl., 2007 , S. 259-269 (VDI-Berichte ; 1981), Als Ms. gedr. - Düsseldorf, VDI-Verl., [Conference or Workshop Item]

Item Type: Conference or Workshop Item
Erschienen: 2007
Creators: Staab, Matthias ; Eicher, D. ; Schlaak, Helmut F.
Title: Aufbau eines Motion-Analyzers zur Charakterisierung von MEMS-Strukturen
Language: German
Series Name: Bildverarbeitung in der Mess- und Automatisierungstechnik : Tagung Regensburg, 27. und 28. November 2007 / VDI/VDE-Gesellschaft Mess- und Automatisierungstechnik. - Als Ms. gedr. - Düsseldorf : VDI-Verl., 2007 , S. 259-269 (VDI-Berichte ; 1981)
Place of Publication: Als Ms. gedr. - Düsseldorf
Publisher: VDI-Verl.
Divisions: 18 Department of Electrical Engineering and Information Technology
18 Department of Electrical Engineering and Information Technology > Institute for Electromechanical Design (dissolved 18.12.2018)
18 Department of Electrical Engineering and Information Technology > Microtechnology and Electromechanical Systems
Date Deposited: 19 Nov 2008 16:24
License: [undefiniert]
Export:
Suche nach Titel in: TUfind oder in Google
Send an inquiry Send an inquiry

Options (only for editors)
Show editorial Details Show editorial Details