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Aufbau eines Motion-Analyzers zur Charakterisierung von MEMS-Strukturen

Staab, Matthias ; Eicher, D. ; Schlaak, Helmut F. :
Aufbau eines Motion-Analyzers zur Charakterisierung von MEMS-Strukturen.
In: Bildverarbeitung in der Mess- und Automatisierungstechnik : Tagung Regensburg, 27. und 28. November 2007 / VDI/VDE-Gesellschaft Mess- und Automatisierungstechnik. - Als Ms. gedr. - Düsseldorf : VDI-Verl., 2007 , S. 259-269 (VDI-Berichte ; 1981) . VDI-Verl. , Als Ms. gedr. - Düsseldorf
[Konferenz- oder Workshop-Beitrag], (2007)

Typ des Eintrags: Konferenz- oder Workshop-Beitrag (Keine Angabe)
Erschienen: 2007
Autor(en): Staab, Matthias ; Eicher, D. ; Schlaak, Helmut F.
Titel: Aufbau eines Motion-Analyzers zur Charakterisierung von MEMS-Strukturen
Sprache: Deutsch
Reihe: Bildverarbeitung in der Mess- und Automatisierungstechnik : Tagung Regensburg, 27. und 28. November 2007 / VDI/VDE-Gesellschaft Mess- und Automatisierungstechnik. - Als Ms. gedr. - Düsseldorf : VDI-Verl., 2007 , S. 259-269 (VDI-Berichte ; 1981)
Ort: Als Ms. gedr. - Düsseldorf
Verlag: VDI-Verl.
Fachbereich(e)/-gebiet(e): Fachbereich Elektrotechnik und Informationstechnik
Fachbereich Elektrotechnik und Informationstechnik > Institut für Elektromechanische Konstruktionen > Mikrotechnik und Elektromechanische Systeme
Fachbereich Elektrotechnik und Informationstechnik > Institut für Elektromechanische Konstruktionen
Hinterlegungsdatum: 19 Nov 2008 16:24
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