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Aufbau eines Motion-Analyzers zur Charakterisierung von MEMS-Strukturen

Staab, Matthias and Eicher, D. and Schlaak, Helmut F. (2007):
Aufbau eines Motion-Analyzers zur Charakterisierung von MEMS-Strukturen.
Als Ms. gedr. - Düsseldorf, VDI-Verl., In: Bildverarbeitung in der Mess- und Automatisierungstechnik : Tagung Regensburg, 27. und 28. November 2007 / VDI/VDE-Gesellschaft Mess- und Automatisierungstechnik. - Als Ms. gedr. - Düsseldorf : VDI-Verl., 2007 , S. 259-269 (VDI-Berichte ; 1981), [Conference or Workshop Item]

Item Type: Conference or Workshop Item
Erschienen: 2007
Creators: Staab, Matthias and Eicher, D. and Schlaak, Helmut F.
Title: Aufbau eines Motion-Analyzers zur Charakterisierung von MEMS-Strukturen
Language: German
Series Name: Bildverarbeitung in der Mess- und Automatisierungstechnik : Tagung Regensburg, 27. und 28. November 2007 / VDI/VDE-Gesellschaft Mess- und Automatisierungstechnik. - Als Ms. gedr. - Düsseldorf : VDI-Verl., 2007 , S. 259-269 (VDI-Berichte ; 1981)
Place of Publication: Als Ms. gedr. - Düsseldorf
Publisher: VDI-Verl.
Divisions: 18 Department of Electrical Engineering and Information Technology
18 Department of Electrical Engineering and Information Technology > Institute for Electromechanical Design
18 Department of Electrical Engineering and Information Technology > Institute for Electromechanical Design > Microtechnology and Electromechanical Systems
Date Deposited: 19 Nov 2008 16:24
License: [undefiniert]
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