Staab, Matthias ; Eicher, D. ; Schlaak, Helmut F. (2007)
Aufbau eines Motion-Analyzers zur Charakterisierung von MEMS-Strukturen.
Konferenzveröffentlichung, Bibliographie
| Typ des Eintrags: | Konferenzveröffentlichung |
|---|---|
| Erschienen: | 2007 |
| Autor(en): | Staab, Matthias ; Eicher, D. ; Schlaak, Helmut F. |
| Art des Eintrags: | Bibliographie |
| Titel: | Aufbau eines Motion-Analyzers zur Charakterisierung von MEMS-Strukturen |
| Sprache: | Deutsch |
| Publikationsjahr: | 2007 |
| Ort: | Als Ms. gedr. - Düsseldorf |
| Verlag: | VDI-Verl. |
| Reihe: | Bildverarbeitung in der Mess- und Automatisierungstechnik : Tagung Regensburg, 27. und 28. November 2007 / VDI/VDE-Gesellschaft Mess- und Automatisierungstechnik. - Als Ms. gedr. - Düsseldorf : VDI-Verl., 2007 , S. 259-269 (VDI-Berichte ; 1981) |
| Fachbereich(e)/-gebiet(e): | 18 Fachbereich Elektrotechnik und Informationstechnik 18 Fachbereich Elektrotechnik und Informationstechnik > Institut für Elektromechanische Konstruktionen (aufgelöst 18.12.2018) 18 Fachbereich Elektrotechnik und Informationstechnik > Mikrotechnik und Elektromechanische Systeme |
| Hinterlegungsdatum: | 19 Nov 2008 16:24 |
| Letzte Änderung: | 26 Aug 2018 21:22 |
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