Spende, Anne ; Sobel, Nicolas ; Lukas, Manuela ; Zierold, Robert ; Riedl, Jesse C. ; Gura, Leonard ; Schubert, Ina ; Moreno, Josep M. Montero ; Nielsch, Kornelius ; Stühn, Bernd ; Hess, Christian ; Trautmann, Christina ; Toimil-Molares, Maria E. (2024)
TiO₂, SiO₂, and Al₂O₃ coated nanopores and nanotubes produced by ALD in etched ion-track membranes for transport measurements.
In: Nanotechnology, 2015, 26 (33)
doi: 10.26083/tuprints-00020473
Artikel, Zweitveröffentlichung, Verlagsversion
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Kurzbeschreibung (Abstract)
Low-temperature atomic layer deposition (ALD) of TiO₂, SiO₂, and Al₂O₃ was applied to modify the surface and to tailor the diameter of nanochannels in etched ion-track polycarbonate membranes. The homogeneity, conformity, and composition of the coating inside the nanochannels are investigated for different channel diameters (18–55 nm) and film thicknesses (5–22 nm). Small angle x-ray scattering before and after ALD demonstrates conformal coating along the full channel length. X-ray photoelectron spectroscopy and energy dispersive x-ray spectroscopy provide evidence of nearly stoichiometric composition of the different coatings. By wet-chemical methods, the ALD-deposited film is released from the supporting polymer templates providing 30 μm long self-supporting nanotubes with walls as thin as 5 nm. Electrolytic ion-conductivity measurements provide proof-of-concept that combining ALD coating with ion-track nanotechnology offers promising perspectives for single-pore applications by controlled shrinking of an oversized pore to a preferred smaller diameter and fine-tuning of the chemical and physical nature of the inner channel surface.
| Typ des Eintrags: | Artikel |
|---|---|
| Erschienen: | 2024 |
| Autor(en): | Spende, Anne ; Sobel, Nicolas ; Lukas, Manuela ; Zierold, Robert ; Riedl, Jesse C. ; Gura, Leonard ; Schubert, Ina ; Moreno, Josep M. Montero ; Nielsch, Kornelius ; Stühn, Bernd ; Hess, Christian ; Trautmann, Christina ; Toimil-Molares, Maria E. |
| Art des Eintrags: | Zweitveröffentlichung |
| Titel: | TiO₂, SiO₂, and Al₂O₃ coated nanopores and nanotubes produced by ALD in etched ion-track membranes for transport measurements |
| Sprache: | Englisch |
| Publikationsjahr: | 9 Januar 2024 |
| Ort: | Darmstadt |
| Publikationsdatum der Erstveröffentlichung: | 2015 |
| Ort der Erstveröffentlichung: | Bristol |
| Verlag: | IOP Publishing |
| Titel der Zeitschrift, Zeitung oder Schriftenreihe: | Nanotechnology |
| Jahrgang/Volume einer Zeitschrift: | 26 |
| (Heft-)Nummer: | 33 |
| Kollation: | 11 Seiten |
| DOI: | 10.26083/tuprints-00020473 |
| URL / URN: | https://tuprints.ulb.tu-darmstadt.de/20473 |
| Zugehörige Links: | |
| Herkunft: | Zweitveröffentlichung DeepGreen |
| Kurzbeschreibung (Abstract): | Low-temperature atomic layer deposition (ALD) of TiO₂, SiO₂, and Al₂O₃ was applied to modify the surface and to tailor the diameter of nanochannels in etched ion-track polycarbonate membranes. The homogeneity, conformity, and composition of the coating inside the nanochannels are investigated for different channel diameters (18–55 nm) and film thicknesses (5–22 nm). Small angle x-ray scattering before and after ALD demonstrates conformal coating along the full channel length. X-ray photoelectron spectroscopy and energy dispersive x-ray spectroscopy provide evidence of nearly stoichiometric composition of the different coatings. By wet-chemical methods, the ALD-deposited film is released from the supporting polymer templates providing 30 μm long self-supporting nanotubes with walls as thin as 5 nm. Electrolytic ion-conductivity measurements provide proof-of-concept that combining ALD coating with ion-track nanotechnology offers promising perspectives for single-pore applications by controlled shrinking of an oversized pore to a preferred smaller diameter and fine-tuning of the chemical and physical nature of the inner channel surface. |
| Freie Schlagworte: | ion-track technology, atomic layer deposition, single-pore, polycarbonate membrane, ion transport, nanotubes |
| Status: | Verlagsversion |
| URN: | urn:nbn:de:tuda-tuprints-204737 |
| Sachgruppe der Dewey Dezimalklassifikatin (DDC): | 500 Naturwissenschaften und Mathematik > 530 Physik 500 Naturwissenschaften und Mathematik > 540 Chemie |
| Fachbereich(e)/-gebiet(e): | 11 Fachbereich Material- und Geowissenschaften 11 Fachbereich Material- und Geowissenschaften > Materialwissenschaft 11 Fachbereich Material- und Geowissenschaften > Materialwissenschaft > Fachgebiet Ionenstrahlmodifizierte Materialien 05 Fachbereich Physik 05 Fachbereich Physik > Institut für Physik Kondensierter Materie (IPKM) 07 Fachbereich Chemie 07 Fachbereich Chemie > Eduard Zintl-Institut 07 Fachbereich Chemie > Eduard Zintl-Institut > Fachgebiet Physikalische Chemie |
| Hinterlegungsdatum: | 09 Jan 2024 10:29 |
| Letzte Änderung: | 15 Mär 2024 19:06 |
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Verfügbare Versionen dieses Eintrags
- TiO₂, SiO₂, and Al₂O₃ coated nanopores and nanotubes produced by ALD in etched ion-track membranes for transport measurements. (deposited 09 Jan 2024 10:29) [Gegenwärtig angezeigt]
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