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Dreidimensionale Mikrostrukturierung von GaAs durch Ionenimplantation für Sensoranwendungen

Miao, Jianmin (1996)
Dreidimensionale Mikrostrukturierung von GaAs durch Ionenimplantation für Sensoranwendungen.
Technische Universität Darmstadt
Dissertation, Bibliographie

Typ des Eintrags: Dissertation
Erschienen: 1996
Autor(en): Miao, Jianmin
Art des Eintrags: Bibliographie
Titel: Dreidimensionale Mikrostrukturierung von GaAs durch Ionenimplantation für Sensoranwendungen
Sprache: Deutsch
Publikationsjahr: 1996
Ort: Düsseldorf
Verlag: VDI-Verl
Band einer Reihe: 232
Kollation: VI, 129 S
Auflage: Düsseldorf: VDI-Verl., 1996. VI, 129 S.
Fachbereich(e)/-gebiet(e): 18 Fachbereich Elektrotechnik und Informationstechnik
Hinterlegungsdatum: 19 Nov 2008 16:23
Letzte Änderung: 05 Mär 2013 08:47
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