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Indium phosphide based bulked micromachining technology for micromechanically tunable WDM filter applications

Pfeiffer, Joachim ; Riemenschneider, R. ; Mutamba, K. ; Peerlings, J. ; Afshar, B. E. ; Baaser, Herbert ; Grunert, D. ; Meissner, P. ; Hartnagel, H. L. (1999)
Indium phosphide based bulked micromachining technology for micromechanically tunable WDM filter applications.
Konferenzveröffentlichung, Bibliographie

Typ des Eintrags: Konferenzveröffentlichung
Erschienen: 1999
Autor(en): Pfeiffer, Joachim ; Riemenschneider, R. ; Mutamba, K. ; Peerlings, J. ; Afshar, B. E. ; Baaser, Herbert ; Grunert, D. ; Meissner, P. ; Hartnagel, H. L.
Art des Eintrags: Bibliographie
Titel: Indium phosphide based bulked micromachining technology for micromechanically tunable WDM filter applications
Sprache: Englisch
Publikationsjahr: 1999
Reihe: TRANSDUCERS'99 <1999, Sendai, Japan>: Proceedings. S. 380-383
Fachbereich(e)/-gebiet(e): 18 Fachbereich Elektrotechnik und Informationstechnik
18 Fachbereich Elektrotechnik und Informationstechnik > Mikrowellenelektronik
Hinterlegungsdatum: 19 Nov 2008 16:22
Letzte Änderung: 14 Feb 2019 10:47
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