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Electrical characterisation of Si3N4/SiO2 double layers on p-type 6H-SiC

Berberich, Stephan ; Godignon, P. ; Morvan, E. ; Fonseca, L. ; Millan, J. ; Hartnagel, H. L. (1999)
Electrical characterisation of Si3N4/SiO2 double layers on p-type 6H-SiC.
Konferenzveröffentlichung, Bibliographie

Typ des Eintrags: Konferenzveröffentlichung
Erschienen: 1999
Autor(en): Berberich, Stephan ; Godignon, P. ; Morvan, E. ; Fonseca, L. ; Millan, J. ; Hartnagel, H. L.
Art des Eintrags: Bibliographie
Titel: Electrical characterisation of Si3N4/SiO2 double layers on p-type 6H-SiC
Sprache: Englisch
Publikationsjahr: 1999
Reihe: Workshop on Dielectrics <10, 1999, Barcelona>: Proceedings
Zusätzliche Informationen:

Zeichendarst. im Sachtitel teilw. nicht vorlagegemäß wiedergegeben

Fachbereich(e)/-gebiet(e): 18 Fachbereich Elektrotechnik und Informationstechnik
18 Fachbereich Elektrotechnik und Informationstechnik > Mikrowellenelektronik
Hinterlegungsdatum: 19 Nov 2008 16:22
Letzte Änderung: 14 Feb 2019 10:47
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