Berberich, Stephan ; Godignon, P. ; Morvan, E. ; Fonseca, L. ; Millan, J. ; Hartnagel, H. L. (1999)
Electrical characterisation of Si3N4/SiO2 double layers on p-type 6H-SiC.
Konferenzveröffentlichung, Bibliographie
Typ des Eintrags: | Konferenzveröffentlichung |
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Erschienen: | 1999 |
Autor(en): | Berberich, Stephan ; Godignon, P. ; Morvan, E. ; Fonseca, L. ; Millan, J. ; Hartnagel, H. L. |
Art des Eintrags: | Bibliographie |
Titel: | Electrical characterisation of Si3N4/SiO2 double layers on p-type 6H-SiC |
Sprache: | Englisch |
Publikationsjahr: | 1999 |
Reihe: | Workshop on Dielectrics <10, 1999, Barcelona>: Proceedings |
Zusätzliche Informationen: | Zeichendarst. im Sachtitel teilw. nicht vorlagegemäß wiedergegeben |
Fachbereich(e)/-gebiet(e): | 18 Fachbereich Elektrotechnik und Informationstechnik 18 Fachbereich Elektrotechnik und Informationstechnik > Mikrowellenelektronik |
Hinterlegungsdatum: | 19 Nov 2008 16:22 |
Letzte Änderung: | 14 Feb 2019 10:47 |
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