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New results of micromachined silicon subminiature microphones using piezoelectric polymer layers

Kreßmann, Reiner ; Hess, Gisela ; Schellin, Ralf (1996)
New results of micromachined silicon subminiature microphones using piezoelectric polymer layers.
9th International Symposium on Electrets (ISE 9). Shanghai, China (27.09.1996-27.09.1996)
doi: 10.1109/ISE.1996.578256
Konferenzveröffentlichung, Bibliographie

Typ des Eintrags: Konferenzveröffentlichung
Erschienen: 1996
Autor(en): Kreßmann, Reiner ; Hess, Gisela ; Schellin, Ralf
Art des Eintrags: Bibliographie
Titel: New results of micromachined silicon subminiature microphones using piezoelectric polymer layers
Sprache: Englisch
Publikationsjahr: 1996
Ort: Piscataway, NJ
Verlag: IEEE
Buchtitel: 9th International Symposium on Electrets (ISE 9) Proceedings, Shanghai, China, 1996
Reihe: International Symposium on Electrets <9, 1996, Shanghai>: Proceedings. Hrsg.: X. Zhongfu (u.a.) S. 1044-1049
Veranstaltungstitel: 9th International Symposium on Electrets (ISE 9)
Veranstaltungsort: Shanghai, China
Veranstaltungsdatum: 27.09.1996-27.09.1996
DOI: 10.1109/ISE.1996.578256
Fachbereich(e)/-gebiet(e): 18 Fachbereich Elektrotechnik und Informationstechnik
Hinterlegungsdatum: 19 Nov 2008 16:22
Letzte Änderung: 17 Mai 2024 07:33
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