Bieker, Johannes ; Schlaak, Helmut F. (2020)
Anwendung von metallischen Feldemittern basierend auf Mikro-Nano-Integration in der kryogenen Vakuummessung.
8. GMM-Workshop Mikro-Nano-Integration. virtual Conference (15.-17.09.2020)
Konferenzveröffentlichung, Bibliographie
| Typ des Eintrags: | Konferenzveröffentlichung |
|---|---|
| Erschienen: | 2020 |
| Autor(en): | Bieker, Johannes ; Schlaak, Helmut F. |
| Art des Eintrags: | Bibliographie |
| Titel: | Anwendung von metallischen Feldemittern basierend auf Mikro-Nano-Integration in der kryogenen Vakuummessung |
| Sprache: | Deutsch |
| Publikationsjahr: | 13 November 2020 |
| Verlag: | VDE-Verband |
| Buchtitel: | Mikro-Nano-Integration |
| Reihe: | GMM-Fachberichte |
| Band einer Reihe: | 97 |
| Veranstaltungstitel: | 8. GMM-Workshop Mikro-Nano-Integration |
| Veranstaltungsort: | virtual Conference |
| Veranstaltungsdatum: | 15.-17.09.2020 |
| Zugehörige Links: | |
| Fachbereich(e)/-gebiet(e): | 18 Fachbereich Elektrotechnik und Informationstechnik 18 Fachbereich Elektrotechnik und Informationstechnik > Mikrotechnik und Elektromechanische Systeme |
| Hinterlegungsdatum: | 20 Nov 2020 08:29 |
| Letzte Änderung: | 08 Nov 2021 13:25 |
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