Schlaak, Helmut F. ; Wick, Konja ; El Khoury, Mario ; Bieker, Johannes ; Quednau, Sebastian (2018)
Anwendungen ionenspur-geätzter Polymermembranen in der Mikro-Nano-Integration.
7. GMM-Workshop Mikro-Nano-Integration. Dortmund, Germany (22.-23.10.2018)
Konferenzveröffentlichung, Bibliographie
Typ des Eintrags: | Konferenzveröffentlichung |
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Erschienen: | 2018 |
Autor(en): | Schlaak, Helmut F. ; Wick, Konja ; El Khoury, Mario ; Bieker, Johannes ; Quednau, Sebastian |
Art des Eintrags: | Bibliographie |
Titel: | Anwendungen ionenspur-geätzter Polymermembranen in der Mikro-Nano-Integration |
Sprache: | Deutsch |
Publikationsjahr: | 22 Oktober 2018 |
Verlag: | VDE-Verband |
Veranstaltungstitel: | 7. GMM-Workshop Mikro-Nano-Integration |
Veranstaltungsort: | Dortmund, Germany |
Veranstaltungsdatum: | 22.-23.10.2018 |
Fachbereich(e)/-gebiet(e): | 18 Fachbereich Elektrotechnik und Informationstechnik 18 Fachbereich Elektrotechnik und Informationstechnik > Mikrotechnik und Elektromechanische Systeme |
Hinterlegungsdatum: | 20 Nov 2020 08:20 |
Letzte Änderung: | 20 Nov 2020 08:20 |
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