Schlaak, Helmut F. ; Wick, Konja ; El Khoury, Mario ; Bieker, Johannes ; Quednau, Sebastian (2018)
Anwendungen ionenspur-geätzter Polymermembranen in der Mikro-Nano-Integration.
7. GMM-Workshop Mikro-Nano-Integration. Dortmund, Germany (22.-23.10.2018)
Konferenzveröffentlichung, Bibliographie
| Typ des Eintrags: | Konferenzveröffentlichung |
|---|---|
| Erschienen: | 2018 |
| Autor(en): | Schlaak, Helmut F. ; Wick, Konja ; El Khoury, Mario ; Bieker, Johannes ; Quednau, Sebastian |
| Art des Eintrags: | Bibliographie |
| Titel: | Anwendungen ionenspur-geätzter Polymermembranen in der Mikro-Nano-Integration |
| Sprache: | Deutsch |
| Publikationsjahr: | 22 Oktober 2018 |
| Verlag: | VDE-Verband |
| Veranstaltungstitel: | 7. GMM-Workshop Mikro-Nano-Integration |
| Veranstaltungsort: | Dortmund, Germany |
| Veranstaltungsdatum: | 22.-23.10.2018 |
| Fachbereich(e)/-gebiet(e): | 18 Fachbereich Elektrotechnik und Informationstechnik 18 Fachbereich Elektrotechnik und Informationstechnik > Mikrotechnik und Elektromechanische Systeme |
| Hinterlegungsdatum: | 20 Nov 2020 08:20 |
| Letzte Änderung: | 20 Nov 2020 08:20 |
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