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Low-Temperature Phase-Controlled Synthesis of Titanium Di- and Tri-sulfide by Atomic Layer Deposition

Basuvalingam, Saravana Balaji ; Zhang, Yue ; Bloodgood, Matthew A. ; Godiksen, Rasmus H. ; Curto, Alberto G. ; Hofmann, Jan P. ; Verheijen, Marcel A. ; Kessels, Wilhelmus M. M. ; Bol, Ageeth A. (2019)
Low-Temperature Phase-Controlled Synthesis of Titanium Di- and Tri-sulfide by Atomic Layer Deposition.
In: Chemistry of Materials, 31 (22)
doi: 10.1021/acs.chemmater.9b02895
Artikel, Bibliographie

Typ des Eintrags: Artikel
Erschienen: 2019
Autor(en): Basuvalingam, Saravana Balaji ; Zhang, Yue ; Bloodgood, Matthew A. ; Godiksen, Rasmus H. ; Curto, Alberto G. ; Hofmann, Jan P. ; Verheijen, Marcel A. ; Kessels, Wilhelmus M. M. ; Bol, Ageeth A.
Art des Eintrags: Bibliographie
Titel: Low-Temperature Phase-Controlled Synthesis of Titanium Di- and Tri-sulfide by Atomic Layer Deposition
Sprache: Englisch
Publikationsjahr: 28 Oktober 2019
Titel der Zeitschrift, Zeitung oder Schriftenreihe: Chemistry of Materials
Jahrgang/Volume einer Zeitschrift: 31
(Heft-)Nummer: 22
DOI: 10.1021/acs.chemmater.9b02895
URL / URN: https://doi.org/10.1021/acs.chemmater.9b02895
Fachbereich(e)/-gebiet(e): 11 Fachbereich Material- und Geowissenschaften
11 Fachbereich Material- und Geowissenschaften > Materialwissenschaft
11 Fachbereich Material- und Geowissenschaften > Materialwissenschaft > Fachgebiet Oberflächenforschung
Hinterlegungsdatum: 17 Jun 2020 05:26
Letzte Änderung: 17 Jun 2020 05:26
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