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Entwicklung eines Herstellungsverfahrens für Leiterbahnen großer Querschnittsflächen in Mikrosystemen

Umbach, Frank ; Langheinrich, (1998)
Entwicklung eines Herstellungsverfahrens für Leiterbahnen großer Querschnittsflächen in Mikrosystemen.
Konferenzveröffentlichung, Bibliographie

Typ des Eintrags: Konferenzveröffentlichung
Erschienen: 1998
Autor(en): Umbach, Frank ; Langheinrich,
Art des Eintrags: Bibliographie
Titel: Entwicklung eines Herstellungsverfahrens für Leiterbahnen großer Querschnittsflächen in Mikrosystemen
Sprache: Deutsch
Publikationsjahr: 1998
Ort: Magdeburg
Verlag: Otto-von Guericke-Univ
Reihe: Fachtagung Informations- und Mikrosystemtechnik <1998, Magdeburg>: Tagungsbd., S. 117-124
Auflage: Magdeburg: Otto-von Guericke-Univ., 1998
Fachbereich(e)/-gebiet(e): 18 Fachbereich Elektrotechnik und Informationstechnik
Hinterlegungsdatum: 19 Nov 2008 16:19
Letzte Änderung: 05 Mär 2013 08:42
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