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Burg, Thomas P. ; Mirza, Amir R. ; Milovic, Nebojsa ; Tsau, Christine H. ; Popescu, George A. ; Foster, John S. ; Manalis, Scott R. (2006)
Vacuum-Packaged Suspended Microchannel Resonant Mass Sensor for Biomolecular Detection.
In: Journal of Microelectromechanical Systems, 15 (6)
doi: 10.1109/JMEMS.2006.883568
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