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Poppe, Andras ; Rencz, Marta ; Szekely, Vladimir ; Karam, Jean Michael ; Courtois, Bernard ; Hofmann, K. ; Glesner, M. (1995)
CAD framework concept for the design of integrated microsystems.
Micromachining and Microfabrication 1995. Austin, USA (23.10.1995-25.10.1995)
doi: 10.1117/12.221171
Konferenzveröffentlichung, Bibliographie
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