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Entwurf und Realisierung eines überlastfesten kapazitiven Silizium-Primärsensors als Messelement für hochempfindliche Differenzdruck-Prozesssensoren

Kober, Timo (2015)
Entwurf und Realisierung eines überlastfesten kapazitiven Silizium-Primärsensors als Messelement für hochempfindliche Differenzdruck-Prozesssensoren.
Technische Universität Darmstadt
Ph.D. Thesis, Bibliographie

Item Type: Ph.D. Thesis
Erschienen: 2015
Creators: Kober, Timo
Type of entry: Bibliographie
Title: Entwurf und Realisierung eines überlastfesten kapazitiven Silizium-Primärsensors als Messelement für hochempfindliche Differenzdruck-Prozesssensoren
Language: German
Referees: Werthschützky, Prof. Dr.- Roland
Date: 2015
Place of Publication: München
Publisher: Dr. Hut
Series: Mikro- und Sensortechnik ; 32
Additional Information:

Zugl.: Darmstadt, Techn. Univ., Diss. 2014

Divisions: 18 Department of Electrical Engineering and Information Technology > Measurement and Sensor Technology
18 Department of Electrical Engineering and Information Technology > Institute for Electromechanical Design (dissolved 18.12.2018)
18 Department of Electrical Engineering and Information Technology
Date Deposited: 11 Jun 2015 10:23
Last Modified: 04 Nov 2015 13:57
PPN:
Referees: Werthschützky, Prof. Dr.- Roland
Export:
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