Lang, Markus ; Glesner, Manfred (1996)
Entwurf eines mikromechanischen Beschleunigungssensors in CMOS-kompatibler Technologie.
3. GI/GMM/ITG-Workshop Methoden und Werkzeuge zum Entwurf von Mikrosystemen. Frankfurt, Germany (27 to 28. June 1996)
Konferenzveröffentlichung, Bibliographie
| Typ des Eintrags: | Konferenzveröffentlichung |
|---|---|
| Erschienen: | 1996 |
| Autor(en): | Lang, Markus ; Glesner, Manfred |
| Art des Eintrags: | Bibliographie |
| Titel: | Entwurf eines mikromechanischen Beschleunigungssensors in CMOS-kompatibler Technologie |
| Sprache: | Deutsch |
| Publikationsjahr: | 1996 |
| Ort: | Frankfurt |
| Buchtitel: | Methoden und Werkzeuge zum Entwurf von Mikrosystemen: 3. GI/GMM/ITG Workshop, Frankfurt 1996. Tagungsband |
| Veranstaltungstitel: | 3. GI/GMM/ITG-Workshop Methoden und Werkzeuge zum Entwurf von Mikrosystemen |
| Veranstaltungsort: | Frankfurt, Germany |
| Veranstaltungsdatum: | 27 to 28. June 1996 |
| Fachbereich(e)/-gebiet(e): | 18 Fachbereich Elektrotechnik und Informationstechnik |
| Hinterlegungsdatum: | 19 Nov 2008 16:00 |
| Letzte Änderung: | 16 Mai 2024 10:13 |
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