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Entwurf eines mikromechanischen Beschleunigungssensors in CMOS-kompatibler Technologie

Lang, Markus ; Glesner, Manfred (1996)
Entwurf eines mikromechanischen Beschleunigungssensors in CMOS-kompatibler Technologie.
3. GI/GMM/ITG-Workshop Methoden und Werkzeuge zum Entwurf von Mikrosystemen. Frankfurt, Germany (1996)
Conference or Workshop Item, Bibliographie

Item Type: Conference or Workshop Item
Erschienen: 1996
Creators: Lang, Markus ; Glesner, Manfred
Type of entry: Bibliographie
Title: Entwurf eines mikromechanischen Beschleunigungssensors in CMOS-kompatibler Technologie
Language: German
Date: 1 January 1996
Book Title: Methoden und Werkzeuge zum Entwurf von Mikrosystemen: 3. GI/GMM/ITG Workshop, Frankfurt 1996. Tagungsband
Event Title: 3. GI/GMM/ITG-Workshop Methoden und Werkzeuge zum Entwurf von Mikrosystemen
Event Location: Frankfurt, Germany
Event Dates: 1996
Divisions: 18 Department of Electrical Engineering and Information Technology
Date Deposited: 19 Nov 2008 16:00
Last Modified: 11 Oct 2023 09:23
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