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Mikromechanischer Überlastschutz für Drucksensoren durch strukturierte Gegenlager aus Glas

Kober, Timo ; Werthschützky, Roland (2010)
Mikromechanischer Überlastschutz für Drucksensoren durch strukturierte Gegenlager aus Glas.
Sensoren und Messsysteme 2010; Vorträge der 15. ITG/GMA-Fachtagung. Nürnberg (18.-19.05.2010)
Conference or Workshop Item, Bibliographie

Item Type: Conference or Workshop Item
Erschienen: 2010
Creators: Kober, Timo ; Werthschützky, Roland
Type of entry: Bibliographie
Title: Mikromechanischer Überlastschutz für Drucksensoren durch strukturierte Gegenlager aus Glas
Language: German
Date: 18 May 2010
Event Title: Sensoren und Messsysteme 2010; Vorträge der 15. ITG/GMA-Fachtagung
Event Location: Nürnberg
Event Dates: 18.-19.05.2010
Divisions: 18 Department of Electrical Engineering and Information Technology > Measurement and Sensor Technology
18 Department of Electrical Engineering and Information Technology > Institute for Electromechanical Design (dissolved 18.12.2018)
18 Department of Electrical Engineering and Information Technology
Date Deposited: 02 Nov 2010 15:22
Last Modified: 05 Mar 2013 09:41
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