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Mikrogehäuste mediengetrennte Silizium-Druck- und Differenzdrucksensoren für industrielle Anwendungen

Wohlgemuth, Christian ; Sindlinger, Stefan ; Werthschützky, Roland ; Thiele, P. (2005)
Mikrogehäuste mediengetrennte Silizium-Druck- und Differenzdrucksensoren für industrielle Anwendungen.
In: tm, Technisches Messen, 72
Article, Bibliographie

Item Type: Article
Erschienen: 2005
Creators: Wohlgemuth, Christian ; Sindlinger, Stefan ; Werthschützky, Roland ; Thiele, P.
Type of entry: Bibliographie
Title: Mikrogehäuste mediengetrennte Silizium-Druck- und Differenzdrucksensoren für industrielle Anwendungen
Language: German
Date: 1 January 2005
Journal or Publication Title: tm, Technisches Messen
Volume of the journal: 72
Divisions: 18 Department of Electrical Engineering and Information Technology
18 Department of Electrical Engineering and Information Technology > Institute for Electromechanical Design (dissolved 18.12.2018)
18 Department of Electrical Engineering and Information Technology > Measurement and Sensor Technology
Date Deposited: 20 Nov 2008 08:24
Last Modified: 20 Feb 2020 13:25
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