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Hermetisch dichte Miniaturgehäuse für mikromechanisch hergestellte Drucksensoren

Hohlfeld, Olaf ; Werthschützky, Roland (1999)
Hermetisch dichte Miniaturgehäuse für mikromechanisch hergestellte Drucksensoren.
Conference or Workshop Item, Bibliographie

Item Type: Conference or Workshop Item
Erschienen: 1999
Creators: Hohlfeld, Olaf ; Werthschützky, Roland
Type of entry: Bibliographie
Title: Hermetisch dichte Miniaturgehäuse für mikromechanisch hergestellte Drucksensoren
Language: German
Date: 1999
Series: Internationales Wissenschaftliches Kolloquium - International Scientific Colloquium <44, 1999, Ilmenau>: Proceedings. Vol. 2, S. 360-365
Divisions: 18 Department of Electrical Engineering and Information Technology
18 Department of Electrical Engineering and Information Technology > Measurement and Sensor Technology
18 Department of Electrical Engineering and Information Technology > Institute for Electromechanical Design (dissolved 18.12.2018)
Date Deposited: 19 Nov 2008 16:28
Last Modified: 05 Mar 2013 08:52
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