Hohlfeld, Olaf ; Werthschützky, Roland (1999):
Hermetisch dichte Miniaturgehäuse für mikromechanisch hergestellte Drucksensoren.
In: Internationales Wissenschaftliches Kolloquium - International Scientific Colloquium <44, 1999, Ilmenau>: Proceedings. Vol. 2, S. 360-365, [Conference or Workshop Item]
| Item Type: | Conference or Workshop Item |
|---|---|
| Erschienen: | 1999 |
| Creators: | Hohlfeld, Olaf ; Werthschützky, Roland |
| Title: | Hermetisch dichte Miniaturgehäuse für mikromechanisch hergestellte Drucksensoren |
| Language: | German |
| Series: | Internationales Wissenschaftliches Kolloquium - International Scientific Colloquium <44, 1999, Ilmenau>: Proceedings. Vol. 2, S. 360-365 |
| Divisions: | 18 Department of Electrical Engineering and Information Technology 18 Department of Electrical Engineering and Information Technology > Measurement and Sensor Technology 18 Department of Electrical Engineering and Information Technology > Institute for Electromechanical Design (dissolved 18.12.2018) |
| Date Deposited: | 19 Nov 2008 16:28 |
| License: | [undefiniert] |
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