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Piezoelektrische Schallwandler auf der Basis von Silizium Mikromechanik

Fischer, Marc ; Niederdränk, T. (2000)
Piezoelektrische Schallwandler auf der Basis von Silizium Mikromechanik.
In: Fortschritte der Akustik: DAGA 2000
Book Section, Bibliographie

Item Type: Book Section
Erschienen: 2000
Creators: Fischer, Marc ; Niederdränk, T.
Type of entry: Bibliographie
Title: Piezoelektrische Schallwandler auf der Basis von Silizium Mikromechanik
Language: German
Date: 2000
Place of Publication: Oldenburg
Publisher: Deutsche Ges. für Akustik
Book Title: Fortschritte der Akustik: DAGA 2000
Divisions: 18 Department of Electrical Engineering and Information Technology
Date Deposited: 19 Nov 2008 16:25
Last Modified: 05 Mar 2013 08:49
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