Dehé, Alfons ; Fricke, K. ; Mutamba, K. ; Hartnagel, Hans L. (1995)
A piezoresistive GaAs pressure sensor with GaAs/AlGaAs membrane technology.
In: Journal of Micromechanics and Microengineering, 5
doi: 10.1088/0960-1317/5/2/021
Artikel, Bibliographie
| Typ des Eintrags: | Artikel |
|---|---|
| Erschienen: | 1995 |
| Autor(en): | Dehé, Alfons ; Fricke, K. ; Mutamba, K. ; Hartnagel, Hans L. |
| Art des Eintrags: | Bibliographie |
| Titel: | A piezoresistive GaAs pressure sensor with GaAs/AlGaAs membrane technology |
| Sprache: | Englisch |
| Publikationsjahr: | 1995 |
| Verlag: | IOP Publishing Ltd |
| Titel der Zeitschrift, Zeitung oder Schriftenreihe: | Journal of Micromechanics and Microengineering |
| Jahrgang/Volume einer Zeitschrift: | 5 |
| DOI: | 10.1088/0960-1317/5/2/021 |
| Fachbereich(e)/-gebiet(e): | 18 Fachbereich Elektrotechnik und Informationstechnik 18 Fachbereich Elektrotechnik und Informationstechnik > Mikrowellenelektronik |
| Hinterlegungsdatum: | 19 Nov 2008 16:24 |
| Letzte Änderung: | 22 Jul 2024 06:46 |
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