TU Darmstadt / ULB / TUbiblio

Boron carbonitride thin films by PACVD of single source precursors

Hegemann, Dirk ; Riedel, R. ; Dreßler, W. ; Oehr, C. ; Schindler, B. ; Brunner, H. (1997)
Boron carbonitride thin films by PACVD of single source precursors.
In: Chemical Vapor Deposition, 3 (5)
Artikel, Bibliographie

Typ des Eintrags: Artikel
Erschienen: 1997
Autor(en): Hegemann, Dirk ; Riedel, R. ; Dreßler, W. ; Oehr, C. ; Schindler, B. ; Brunner, H.
Art des Eintrags: Bibliographie
Titel: Boron carbonitride thin films by PACVD of single source precursors
Sprache: Englisch
Publikationsjahr: 1997
Verlag: WILEY-VCH Verlag GmbH & Co. KGaA, Weinheim
Titel der Zeitschrift, Zeitung oder Schriftenreihe: Chemical Vapor Deposition
Jahrgang/Volume einer Zeitschrift: 3
(Heft-)Nummer: 5
Zugehörige Links:
Fachbereich(e)/-gebiet(e): 11 Fachbereich Material- und Geowissenschaften
11 Fachbereich Material- und Geowissenschaften > Materialwissenschaft
11 Fachbereich Material- und Geowissenschaften > Materialwissenschaft > Fachgebiet Disperse Feststoffe
11 Fachbereich Material- und Geowissenschaften > Fachbereich Materialwissenschaft (1999 aufgegangen in 11 Fachbereich Material- und Geowissenschaften)
Hinterlegungsdatum: 19 Nov 2008 16:23
Letzte Änderung: 07 Jan 2021 12:05
PPN:
Export:
Suche nach Titel in: TUfind oder in Google
Frage zum Eintrag Frage zum Eintrag

Optionen (nur für Redakteure)
Redaktionelle Details anzeigen Redaktionelle Details anzeigen