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Linner, B. ; Guggenberger, M. A. ; Huttinger, K. J. ; Kleebe, H.-J. (1996)
Chemical vapour deposition of silicon nitride filaments from silicon subhydrides and ammonia.
In: Journal of the European Ceramic Society, 16 (1)
doi: 10.1016/0955-2219(95)00111-5
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