Kompakte, weit abstimmbare und modensprungfreie Laser werden für Dauerstrich-(CW) Terahertz-(THz) Quellen benötigt. Diese Arbeit beschreibt zum ersten Mal die Leistungsfähigkeit von mikroelektromechanisch abstimmbaren oberflächenemittierenden Lasern (MEMS-VCSEL) bei 1550 nm für den Einsatz in abstimmbaren CWTHz Photomischer-Systemen. Ein elektrothermisch abstimmbarer MEMS-VCSEL, mit einem Abstimmbereich von 64 nm (7,92 THz) und einer Seitenmodenunterdrückung (SMSR) von > 50 dB über den gesamten Abstimmbereich wurde mittels einer optischen Heterodyn-Methode in Verbindung mit einem Laser mit verteilter Rückkopplung (DFB) zum Treiben eines Photomischers verwendet. Die erreichte THz-Bandbreite von 4,74 THz wird nur durch den verwendeten Photomischer begrenzt. Diese Dissertation charakterisiert systematisch MEMS-VCSEL mit einem besonderen Augenmerk auf die relevanten Parameter des THz-Photomischens wie Abstimmbarkeit, Abstimmgeschwindigkeit, Linienbreite, Polarisation und Wellenlängenstabilität. MEMS-VCSEL zeigen eine ausgezeichnete Polarisationsunterdrückung (PSR) von > 20 dB und Linienbreite von < 50 MHz über den gesamten Abstimmbereich. Wegen der freihängenden Struktur des beweglichen Resonatorspiegels zeigen MEMS-VCSEL Wellenlängendrifts und –schwankungen. Eine Wellenlängenregelschaltung kompensiert die langsamen Drifts, während die schnellen Schwankungen eine Langzeitbandbreite von < 350 MHz aufweisen und somit für THz-Photomischen ausreichen. Die Schwankungen hängen von den mechanischen Eigenschaften des beweglichen Spiegels ab und werden in dieser Arbeit analysiert. Das kleine aktive Volumen der VCSEL führt zu einer Ausgangsleistung von wenigen Milliwatt. Diese Arbeit untersucht weiterhin Nanoelektroden-basierte CW-Photomischer mit einem hohen Umwandlungswirkungsgrad der optischen Leistung in THz-Leistung. Diese Bauelemente haben etwa eine Größenordnung kleinere Bauelement-Kapazität im Vergleich zu einem herkömmlichen Photomischer mit Interdigitalelektroden, um die Verluste zu reduzieren und die Ausgangsleistung zu verbessern. Die Photomischer haben das Potential, einen ausreichenden Photostrom zu erzeugen, wenn ein VCSEL den 1 µm–2 µm großen Elektrodenabstand durch ein Linsensystem intensiv beleuchtet. Bei dieser Untersuchung wurde die Dielektrophoresen-Technik (DEP) verwendet, um Silber-Nanodrähte als Nanoelektroden auszurichten und Photomischer bei 850 nm und 1550 nm mit entsprechenden Substratmaterialien herzustellen. Während die DC-Eigenschaften vielversprechend sind, konnte bisher kein THz-Signal aufgrund der ungeschützten Nanodrähte erzeugt werden. Die Arbeit schließt mit einer detaillierten Analyse der Fehlermechanismen und möglichen Lösungsvorschlägen ab.