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Sensor array on structured PET substrates for detection of thin dielectric layers at terahertz frequencies

Maasch, M. ; Mueh, M. ; Damm, C. (2017)
Sensor array on structured PET substrates for detection of thin dielectric layers at terahertz frequencies.
2017 IEEE MTT-S International Microwave Symposium (IMS).
doi: 10.1109/MWSYM.2017.8058768
Konferenzveröffentlichung, Bibliographie

Typ des Eintrags: Konferenzveröffentlichung
Erschienen: 2017
Autor(en): Maasch, M. ; Mueh, M. ; Damm, C.
Art des Eintrags: Bibliographie
Titel: Sensor array on structured PET substrates for detection of thin dielectric layers at terahertz frequencies
Sprache: Englisch
Publikationsjahr: Juni 2017
Veranstaltungstitel: 2017 IEEE MTT-S International Microwave Symposium (IMS)
DOI: 10.1109/MWSYM.2017.8058768
Freie Schlagworte: dielectric thin films;permittivity;polymers;sensor arrays;thin film sensors;MUT thicknesses;Polyethylene terephthalate substrate;dielectric materials;electric field;floating electrode;frequency 0.5 THz;permittivity;planar resonant structures;resonance frequency shift;resonant Jerusalem cross unit cell;sensor array;size 3.3 mum;strictly planar resonant structures;structured PET substrates;terahertz frequencies;thin dielectric layer;Dielectrics;Electrodes;Etching;Frequency measurement;Resonant frequency;Resonators;Substrates;Terahertz devices;electromagnetic sensors;frequency selective surfaces
Fachbereich(e)/-gebiet(e): 18 Fachbereich Elektrotechnik und Informationstechnik > Institut für Mikrowellentechnik und Photonik (IMP) > Terahertz Sensors Group
18 Fachbereich Elektrotechnik und Informationstechnik > Institut für Mikrowellentechnik und Photonik (IMP)
18 Fachbereich Elektrotechnik und Informationstechnik
Hinterlegungsdatum: 06 Apr 2018 12:00
Letzte Änderung: 06 Apr 2018 12:00
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