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Ein passives Fokusverfahren zur Vermessung von Mikrostrukturen

Rönneberg, Gerrit :
Ein passives Fokusverfahren zur Vermessung von Mikrostrukturen.
VDI-Verl , Düsseldorf
[Dissertation]

Typ des Eintrags: Dissertation
Erschienen: 1999
Autor(en): Rönneberg, Gerrit
Titel: Ein passives Fokusverfahren zur Vermessung von Mikrostrukturen
Sprache: Deutsch
Band: 741
Ort: Düsseldorf
Verlag: VDI-Verl
Edition: Düsseldorf: VDI-Verl., 1999. XII, 157 S
Kollation: XII, 157 S.
Fachbereich(e)/-gebiet(e): Fachbereich Elektrotechnik und Informationstechnik
Hinterlegungsdatum: 19 Nov 2008 16:05
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