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Ein passives Fokusverfahren zur Vermessung von Mikrostrukturen

Rönneberg, Gerrit (1999)
Ein passives Fokusverfahren zur Vermessung von Mikrostrukturen.
Technische Universität Darmstadt
Dissertation, Bibliographie

Typ des Eintrags: Dissertation
Erschienen: 1999
Autor(en): Rönneberg, Gerrit
Art des Eintrags: Bibliographie
Titel: Ein passives Fokusverfahren zur Vermessung von Mikrostrukturen
Sprache: Deutsch
Publikationsjahr: 1999
Ort: Düsseldorf
Verlag: VDI-Verl
Band einer Reihe: 741
Kollation: XII, 157 S.
Auflage: Düsseldorf: VDI-Verl., 1999. XII, 157 S
Fachbereich(e)/-gebiet(e): 18 Fachbereich Elektrotechnik und Informationstechnik
Hinterlegungsdatum: 19 Nov 2008 16:05
Letzte Änderung: 05 Mär 2013 08:40
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