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Lokale Schichterzeugung beim HF-Magnetronsputtern

Berg, Günter and Friedrich, and Senf, and Broszeit, and Kloos, Karl Heinz (1998):
Lokale Schichterzeugung beim HF-Magnetronsputtern.
In: Materialwissenschaft und Werkstofftechnik. 29 (1998), 9, S. 452-458, [Article]

Item Type: Article
Erschienen: 1998
Creators: Berg, Günter and Friedrich, and Senf, and Broszeit, and Kloos, Karl Heinz
Title: Lokale Schichterzeugung beim HF-Magnetronsputtern
Language: German
Journal or Publication Title: Materialwissenschaft und Werkstofftechnik. 29 (1998), 9, S. 452-458
Divisions: 16 Department of Mechanical Engineering
16 Department of Mechanical Engineering > Center for Engineering Materials, State Materials Testing Institute Darmstadt (MPA) Chair and Institute for Materials Technology (IfW)
Date Deposited: 19 Nov 2008 16:05
License: [undefiniert]
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