Berg, Günter ; Friedrich, C. ; Senf, Joachim ; Broszeit, Erhard ; Kloos, Karl Heinz (1998)
Lokale Schichterzeugung beim HF-Magnetronsputtern.
In: Materialwissenschaft und Werkstofftechnik, 29 (9)
doi: 10.1002/mawe.19980290903
Artikel, Bibliographie
| Typ des Eintrags: | Artikel |
|---|---|
| Erschienen: | 1998 |
| Autor(en): | Berg, Günter ; Friedrich, C. ; Senf, Joachim ; Broszeit, Erhard ; Kloos, Karl Heinz |
| Art des Eintrags: | Bibliographie |
| Titel: | Lokale Schichterzeugung beim HF-Magnetronsputtern |
| Sprache: | Deutsch |
| Publikationsjahr: | 1998 |
| Verlag: | Wiley |
| Titel der Zeitschrift, Zeitung oder Schriftenreihe: | Materialwissenschaft und Werkstofftechnik |
| Jahrgang/Volume einer Zeitschrift: | 29 |
| (Heft-)Nummer: | 9 |
| DOI: | 10.1002/mawe.19980290903 |
| Fachbereich(e)/-gebiet(e): | 16 Fachbereich Maschinenbau 16 Fachbereich Maschinenbau > Fachgebiet und Institut für Werkstoffkunde - Zentrum für Konstruktionswerkstoffe - Staatliche Materialprüfungsanstalt Darmstadt (IfW-MPA) |
| Hinterlegungsdatum: | 19 Nov 2008 16:05 |
| Letzte Änderung: | 01 Dez 2023 07:41 |
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