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Lokale Schichterzeugung beim HF-Magnetronsputtern

Berg, Günter ; Friedrich, ; Senf, ; Broszeit, ; Kloos, Karl Heinz :
Lokale Schichterzeugung beim HF-Magnetronsputtern.
In: Materialwissenschaft und Werkstofftechnik. 29 (1998), 9, S. 452-458
[Artikel], (1998)

Typ des Eintrags: Artikel
Erschienen: 1998
Autor(en): Berg, Günter ; Friedrich, ; Senf, ; Broszeit, ; Kloos, Karl Heinz
Titel: Lokale Schichterzeugung beim HF-Magnetronsputtern
Sprache: Deutsch
Titel der Zeitschrift, Zeitung oder Schriftenreihe: Materialwissenschaft und Werkstofftechnik. 29 (1998), 9, S. 452-458
Fachbereich(e)/-gebiet(e): Fachbereich Maschinenbau
Fachbereich Maschinenbau > Werkstoffkunde
Hinterlegungsdatum: 19 Nov 2008 16:05
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