Moderne drahtlose Kommunikationssysteme erfordern kostengünstige, kompakte und hochintegrierte abstimmbare Komponenten wie Filter, Phasenschieber, frequenzagile Antennen und adaptive Leistungsanpassungsnetzwerke. Ein Grundelement dieser Komponenten ist der variable Kondensator (Varactor). Ferroelektrische Dünnschicht-Varaktoren weisen neben anderen Technologien eine hohe mögliche Leistungsaufnahme, eine niedrige Abstimmspannung, ein schnelles Ansprechverhalten, eine hohe Kapazitätsdichte und eine gute Anpassbarkeit in den Mikrowellenfrequenzbereich (DC bis 20 GHz) auf. Insbesondere BST-basierte Dünnschicht-Varaktoren haben ein hervorragendes Potential um Größe, Gewicht und Kosten zu reduzieren und die Funktionalität von drahtlosen Kommunikationssystemen zu verbessern. Elektrische Verluste von ferroelektrischen Dünnschicht-Varaktoren hängen stark vom Verlust der dielektrischen Schicht ab. Im Allgemeinen hat die Wahl des Materials der Bodenelektrode einen großen Einfluss auf die dielektrischen Eigenschaften und die Gesamtverluste. Aus diesem Grund wurden Anstrengungen unternommen, leitende Oxidmaterialien als Bodenelektroden zu verwenden, was die Abscheidung einer dielektrischen Schicht mit geringer Defektdichte und fehlender Verzerrung ermöglicht. Aufgrund des hohen elektrischen Widerstandes der bisher verwendeten Elektrodenmaterialien wurde jedoch geschlussfolgert, dass Oxidelektroden für die Integration in Mikrowellen-Varaktoren nicht Leitfähig genug sind. In dieser Arbeit wurde erstmals das hochleitendes Perowskitmaterial SrMoO3 als Bodenelektrode in Dünnschicht-BST-basierte Varaktoren integriert. Die epitaktische SrTiO3 / SrMoO3 / SrTiO3 / Ba0.4Sr0.6TiO3-Heterostruktur wurde auf einem (110) -GdScO3-Substrat unter Verwendung von gepulster Laserabscheidung (PLD) abgeschieden. Die Mikrostruktur der abgeschiedenen Schichten wurde durch RHEED überwacht und durch Röntgenbeugungstechniken und Rastertransmissionselektronenmikroskopie (STEM) charakterisiert. Es wurde gezeigt, dass ein epitaxiales Wachstum der SrTiO3 / SrMoO3 / SrTiO3 / Ba0.4Sr0.6TiO3 Struktur, die entsprechend dem GdScO3-Substrat fixiert ist, möglich ist. Darüber hinaus führte die Optimierung der Abscheidungsbedingungen zu einem homogenen Einphasenwachstum aller Schichten mit geringer Mosaikstruktur und ausgezeichneter Kristallqualität. Mithilfe der Lift-off-Lithographie wurden mit Magnetron Sputtering Pt / Au-Top-Elektroden abgeschieden, um die elektrische Charakterisierung der MIM-strukturierten Varaktoren zu ermöglichen. Es wurde gezeigt, dass eine Abstimmbarkeit von 50% durch Anlegen einer kleinen Vorspannung von 8 V erreichbar ist. Ein Qualitätsfaktor von 180 bei 30 MHz deutet zudem auf einen sehr geringen dielektrischen Verlust am Ba0.4Sr0.6TiO3 hin. Ein Kommutierungsqualitätsfaktor (CQF) von 10000 bei 100 MHz zeigt das Potenzial von SrMoO3 für die Integration in Mikrowellenanwendungen. Als erster Schritt zur Industrialisierung dieser Technologie wurde ein selektives Ätzverfahren zur Verarbeitung und Herstellung von SrMoO3-basierten elektronischen Geräten etabliert.