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Selective growth of InP by plasma assisted solid-source epitaxy

Aller, Ingo ; Hartnagel, H. L. :
Selective growth of InP by plasma assisted solid-source epitaxy.
In: International Conference on Indium Phosphide and Related Materials <7, 1995, Sapporo, Japan>: Proceedings. S. 325-328 .
[Konferenz- oder Workshop-Beitrag], (1995)

Typ des Eintrags: Konferenz- oder Workshop-Beitrag (Keine Angabe)
Erschienen: 1995
Autor(en): Aller, Ingo ; Hartnagel, H. L.
Titel: Selective growth of InP by plasma assisted solid-source epitaxy
Sprache: Englisch
Reihe: International Conference on Indium Phosphide and Related Materials <7, 1995, Sapporo, Japan>: Proceedings. S. 325-328
Fachbereich(e)/-gebiet(e): Fachbereich Elektrotechnik und Informationstechnik
Hinterlegungsdatum: 19 Nov 2008 16:05
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