Wischmeyer, Frank (2001)
Siliziumkarbid-CVD in Horizontalflussreaktoren mit Substratrotation: Aspekte der Homo- und Heteroepitaxie.
Technische Universität Darmstadt
Dissertation, Bibliographie
| Typ des Eintrags: | Dissertation |
|---|---|
| Erschienen: | 2001 |
| Autor(en): | Wischmeyer, Frank |
| Art des Eintrags: | Bibliographie |
| Titel: | Siliziumkarbid-CVD in Horizontalflussreaktoren mit Substratrotation: Aspekte der Homo- und Heteroepitaxie |
| Sprache: | Deutsch |
| Publikationsjahr: | 2001 |
| Ort: | Darmstadt |
| Verlag: | Techn. Univ. |
| Kollation: | V,102,XII S. |
| Fachbereich(e)/-gebiet(e): | 18 Fachbereich Elektrotechnik und Informationstechnik |
| Hinterlegungsdatum: | 19 Nov 2008 16:04 |
| Letzte Änderung: | 05 Mär 2013 08:39 |
| PPN: | |
| Export: | |
| Suche nach Titel in: | TUfind oder in Google |
 |
Frage zum Eintrag |
Optionen (nur für Redakteure)
 |
Redaktionelle Details anzeigen |
Drucken
Impressum