Die Bestimmung des Wassergehaltes in einem flüssigen oder festen Medium sowie des Feuchtigkeitsgehaltes in einem gasförmigen Medium ist eine zentrale Aufgabe in vielen industriellen Prozessen. Die Verarbeitung von Materialien erfolgt häufig bei einer fest vorgeschriebenen Prozessfeuchte um die Qualität des Materials nicht zu beeinflussen oder aber eine bestimmte Reaktion kann nur unter einem fest vorgegebenen Feuchtigkeitsgehalt der Umgebungsluft ablaufen In dieser Arbeit werden Methoden zur Erkennung des Wasser- bzw. Feuchtegehaltes in festen sowie gasförmigen Medien untersucht und darauf basierend Sensoren zur Messung dieser entwickelt. Der erste Teil der Arbeit beschäftigt sich mit der Eignung, sowie der Dimensionierung eines mikrowellenbasierten Sensors für die Tabakindustrie. Für einen Nachweis der Feuchtigkeit im Rohtabak wurde das Störkörper- Messverfahren angewendet, um die Beziehung zwischen der Permittivität und dem Wassergehalt des Messgutes bei der Arbeitsfrequenz zu extrahieren. Basierend auf der erhaltenen Information wurde ein Sensor zur Bestimmung des Massenstromes in der Tabakproduktion entwickelt. Der Massenstromsensor besteht aus einem offenen zylindrischen Resonator, der aus zwei kreisförmigen Hohlleitern mit unterschiedlichen Durchmessern besteht. Im Versuchsstand der Riedel Filtertechnik GmbH konnte anhand realitätsnaher Tests des Massenstromsensors Abweichungen von weniger als 10% im Vergleich zum Istwert erreicht werden. Der zweite Teil der Arbeit untersucht die Messung der Luftfeuchtigkeit. Als sensitives Material wurde Polyvinylalkohol (PVA) ausgewählt, da PVA zwei Mechanismen für die Messung der Feuchtigkeit, die Änderung der elektrischen Beladung und der mechanischen Beladung eines SAW Resonators in Abhängigkeit der Feuchtigkeit besitzt. Die Änderung der dielektrischen Eigenschaften als Funktion der Luftfeuchtigkeit des PVA-Films wird mit einem Interdigitalkondensator (IDC) in einem breiten Frequenzband bei verschiedenen relativen Luftfeuchtigkeiten (RHs) gemessen. Mit Hilfe der Ergebnisse konnte ein umfassendes Modell des PVA-Films für die Computersimulation zur Vorhersage der Eigenschaften von Sensoren erstellt werden. Ein drahtloser Feuchtigkeitsensor wurde entworfen, um das Modell für den PVA-Film zu verifizieren. Die Genauigkeit des Modells wird durch eine gute Übereinstimmung zwischen der Simulation und den Messergebnissen bestätigt. Um die Änderung der mechanischen Beladung zu nutzen, wurde der PVA-Film auf Resonatoren der akustischen Oberflächenwellen (SAW) geladen. Ein nass-chemisches Verfahren für die Strukturierung des PVA-Films wurde entwickelt und der Einfluss der Lagendicke des PVA-Films untersucht. Mit verschiedenen Strukturen und Lagendicken des PVA-Films ist es möglich, Feuchtigkeitssensoren für verschiedene Betriebsbereiche, Empfindlichkeiten und Qualitätsfaktoren zu erzielen. Um beide Eigenschaften von PVA, die elektrischen Beladung und mechanicshen Beladung gleichzeitig anwenden zu können, wurde ein neuer SAW-Resonator entwickelt, der IDCs als Kapazitäten und gleichzeitig als Reflektoren besitzt. Der feuchtigkeitssensor erweitert damit seinen Betriebsbereich und zeigt eine bessere Empfindlichkeit und Qualitätsfaktor in einen bestimmten RH-Bereich. Es wurde ein Qualitätsfaktor (FoM) definiert, der gleichzeitig die Empfindlichkeiten und die Gütefaktoren des Sensors auswertet. Die Messungsmechanismen mit besseren FoM können dann für die RH-Messung in einem definierten RH-Bereich ausgewählt werden.