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An acceleration sensor in cmos-compatible technology for integration in complex systems

Lang, Markus (1997)
An acceleration sensor in cmos-compatible technology for integration in complex systems.
In: Journal of micromechanics and microengineering. 7 (1997), 3, S. 193-195
Artikel, Bibliographie

Typ des Eintrags: Artikel
Erschienen: 1997
Autor(en): Lang, Markus
Art des Eintrags: Bibliographie
Titel: An acceleration sensor in cmos-compatible technology for integration in complex systems
Sprache: Englisch
Publikationsjahr: 1997
Titel der Zeitschrift, Zeitung oder Schriftenreihe: Journal of micromechanics and microengineering. 7 (1997), 3, S. 193-195
Fachbereich(e)/-gebiet(e): 18 Fachbereich Elektrotechnik und Informationstechnik
Hinterlegungsdatum: 19 Nov 2008 16:04
Letzte Änderung: 20 Feb 2020 13:30
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