Lang, Markus (1997)
An acceleration sensor in cmos-compatible technology for integration in complex systems.
In: Journal of micromechanics and microengineering. 7 (1997), 3, S. 193-195
Artikel, Bibliographie
Typ des Eintrags: | Artikel |
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Erschienen: | 1997 |
Autor(en): | Lang, Markus |
Art des Eintrags: | Bibliographie |
Titel: | An acceleration sensor in cmos-compatible technology for integration in complex systems |
Sprache: | Englisch |
Publikationsjahr: | 1997 |
Titel der Zeitschrift, Zeitung oder Schriftenreihe: | Journal of micromechanics and microengineering. 7 (1997), 3, S. 193-195 |
Fachbereich(e)/-gebiet(e): | 18 Fachbereich Elektrotechnik und Informationstechnik |
Hinterlegungsdatum: | 19 Nov 2008 16:04 |
Letzte Änderung: | 20 Feb 2020 13:30 |
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