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Adhäsions- und Reibungsverhalten von Nano- und Mikropartikeln auf Siliziumwafern

Schiwek, Simon (2016)
Adhäsions- und Reibungsverhalten von Nano- und Mikropartikeln auf Siliziumwafern.
Technische Universität Darmstadt
Dissertation, Erstveröffentlichung

Kurzbeschreibung (Abstract)

In der vorliegenden Arbeit wurde das Reibungsverhalten auf Siliziumwafern von Polystyrol-Nanopartikeln mit einem Durchmesser von 100 nm bestimmt. Dazu wurden Manipulationsexperimente mit Hilfe eines Rasterkraftmikroskopes im Peak-Force-Tapping Modus durchgeführt. Durch ein Kräftemodell wurde, unter Verwendung der zusätzlich gemessenen Adhäsionskraft, die Gleitreibungskraft zwischen den Nanopartikeln und der Oberfläche in wäsrigen Medien mit pH 2, pH 6 und pH 9 bestimmt. Darüber hinaus wurden teilweise fluoreszierende Mikropartikel mit einem Durchmesser von 2 µm erzeugt und ein Versuchsaufbau erstellt, der eine Beobachtung der Fluoreszenzpartikel während der Manipulation erlaubte. Damit war es möglich eine Rollbewegung von Mikropartikeln direkt zu beobachten und nachzuweisen.

Typ des Eintrags: Dissertation
Erschienen: 2016
Autor(en): Schiwek, Simon
Art des Eintrags: Erstveröffentlichung
Titel: Adhäsions- und Reibungsverhalten von Nano- und Mikropartikeln auf Siliziumwafern
Sprache: Deutsch
Referenten: Stark, Prof. Dr. Robert ; Trautmann, Prof. Dr. Christina
Publikationsjahr: 2016
Ort: Darmstadt
Datum der mündlichen Prüfung: 26 Februar 2016
URL / URN: http://tuprints.ulb.tu-darmstadt.de/5364
Kurzbeschreibung (Abstract):

In der vorliegenden Arbeit wurde das Reibungsverhalten auf Siliziumwafern von Polystyrol-Nanopartikeln mit einem Durchmesser von 100 nm bestimmt. Dazu wurden Manipulationsexperimente mit Hilfe eines Rasterkraftmikroskopes im Peak-Force-Tapping Modus durchgeführt. Durch ein Kräftemodell wurde, unter Verwendung der zusätzlich gemessenen Adhäsionskraft, die Gleitreibungskraft zwischen den Nanopartikeln und der Oberfläche in wäsrigen Medien mit pH 2, pH 6 und pH 9 bestimmt. Darüber hinaus wurden teilweise fluoreszierende Mikropartikel mit einem Durchmesser von 2 µm erzeugt und ein Versuchsaufbau erstellt, der eine Beobachtung der Fluoreszenzpartikel während der Manipulation erlaubte. Damit war es möglich eine Rollbewegung von Mikropartikeln direkt zu beobachten und nachzuweisen.

Alternatives oder übersetztes Abstract:
Alternatives AbstractSprache

In this study, the friction behavior of Polystyrene particles on Silicon wafer surfaces was analyzed. Therefore we used an atomic force microscope to manipulate nano particles with a diameter of 100 nm in peak-force-tapping-mode. The adhesion between the particles and the surface was measured by force-vs-distance curves. A force model was developed to determine the friction forces in a liquid environment of pH 2, pH 6 and pH 9 based on this measurements. Additionally, partially fluorescent particles with a diameter of 2 µm were created. With a atomic force microscope combined with a fluorescence microscope it was possible to produce the evidence of a rolling micro sphere.

Englisch
URN: urn:nbn:de:tuda-tuprints-53640
Sachgruppe der Dewey Dezimalklassifikatin (DDC): 500 Naturwissenschaften und Mathematik > 500 Naturwissenschaften
500 Naturwissenschaften und Mathematik > 530 Physik
600 Technik, Medizin, angewandte Wissenschaften > 600 Technik
600 Technik, Medizin, angewandte Wissenschaften > 620 Ingenieurwissenschaften und Maschinenbau
600 Technik, Medizin, angewandte Wissenschaften > 670 Industrielle und handwerkliche Fertigung
Fachbereich(e)/-gebiet(e): 11 Fachbereich Material- und Geowissenschaften > Materialwissenschaft
11 Fachbereich Material- und Geowissenschaften
Hinterlegungsdatum: 17 Apr 2016 19:55
Letzte Änderung: 17 Apr 2016 19:55
PPN:
Referenten: Stark, Prof. Dr. Robert ; Trautmann, Prof. Dr. Christina
Datum der mündlichen Prüfung / Verteidigung / mdl. Prüfung: 26 Februar 2016
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