Lu, D. ; Zheng, Y. ; Penirschke, A. ; Jakoby, R. (2016)
Humidity Sensors Based on Photolithographically Patterned PVA Films Deposited on SAW Resonators.
In: IEEE Sensors Journal, 16 (1)
Artikel, Bibliographie
URL / URN: http://dx.doi.org/10.1109/JSEN.2015.2468082
| Typ des Eintrags: | Artikel |
|---|---|
| Erschienen: | 2016 |
| Autor(en): | Lu, D. ; Zheng, Y. ; Penirschke, A. ; Jakoby, R. |
| Art des Eintrags: | Bibliographie |
| Titel: | Humidity Sensors Based on Photolithographically Patterned PVA Films Deposited on SAW Resonators |
| Sprache: | Deutsch |
| Publikationsjahr: | Januar 2016 |
| Titel der Zeitschrift, Zeitung oder Schriftenreihe: | IEEE Sensors Journal |
| Jahrgang/Volume einer Zeitschrift: | 16 |
| (Heft-)Nummer: | 1 |
| URL / URN: | http://dx.doi.org/10.1109/JSEN.2015.2468082 |
| Freie Schlagworte: | electrochemical electrodes;humidity measurement;humidity sensors;photodetectors;photolithography;polymer films;surface acoustic wave resonators;surface acoustic wave sensors;thickness measurement;thin film sensors;PVA film thickness measurement;SAW resonator;anticorrosive gold electrode;contact pad;interdigital transducer pad;photolithographically patterned PVA film deposition;polyvinyl-alcohol film;relative humidity sensor;surface acoustic wave resonator;Bandwidth;Humidity;Resonant frequency;Sensitivity;Sensor phenomena and characterization;Surface acoustic waves;Microwave;SAW resonator;patterned polyvinyl-alcohol film;relative humidity sensor |
| Fachbereich(e)/-gebiet(e): | 18 Fachbereich Elektrotechnik und Informationstechnik > Institut für Mikrowellentechnik und Photonik (IMP) > Mikrowellentechnik 18 Fachbereich Elektrotechnik und Informationstechnik > Institut für Mikrowellentechnik und Photonik (IMP) 18 Fachbereich Elektrotechnik und Informationstechnik |
| Hinterlegungsdatum: | 21 Mär 2016 12:12 |
| Letzte Änderung: | 28 Mär 2017 11:13 |
| PPN: | |
| Export: | |
| Suche nach Titel in: | TUfind oder in Google |
 |
Frage zum Eintrag |
Optionen (nur für Redakteure)
 |
Redaktionelle Details anzeigen |
Drucken
Impressum