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Plasmagestützte Prozesse zur Abscheidung neuer Hartstoffschichten

Hegemann, Dirk :
Plasmagestützte Prozesse zur Abscheidung neuer Hartstoffschichten.
Shaker , Aachen
[Dissertation]

Typ des Eintrags: Dissertation
Erschienen: 1999
Autor(en): Hegemann, Dirk
Titel: Plasmagestützte Prozesse zur Abscheidung neuer Hartstoffschichten
Sprache: Deutsch
Band: 8
Ort: Aachen
Verlag: Shaker
Edition: Aachen: Shaker, 1999. IV, 146 S
Kollation: IV, 146 S
Fachbereich(e)/-gebiet(e): FB Materialwissenschaft (aufgegangen in FB11)
Hinterlegungsdatum: 19 Nov 2008 16:03
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