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Plasmagestützte Prozesse zur Abscheidung neuer Hartstoffschichten

Hegemann, Dirk (1999):
Plasmagestützte Prozesse zur Abscheidung neuer Hartstoffschichten.
In: Forschungsberichte Neue Materialien aus dem Fachgebiet Disperse Feststoffe, TU Darmstadt, 8, Aachen: Shaker, 1999. IV, 146 S, Aachen, Shaker, TU Darmstadt, ISBN 978-3-8265-6356-0,
[Ph.D. Thesis]

Item Type: Ph.D. Thesis
Erschienen: 1999
Creators: Hegemann, Dirk
Title: Plasmagestützte Prozesse zur Abscheidung neuer Hartstoffschichten
Language: German
Series Name: Forschungsberichte Neue Materialien aus dem Fachgebiet Disperse Feststoffe, TU Darmstadt
Volume: 8
Place of Publication: Aachen
Publisher: Shaker
Edition: Aachen: Shaker, 1999. IV, 146 S
ISBN: 978-3-8265-6356-0
Collation: IV, 146 S
Divisions: 11 Department of Materials and Earth Sciences
11 Department of Materials and Earth Sciences > Material Science
11 Department of Materials and Earth Sciences > Material Science > Dispersive Solids
11 Department of Materials and Earth Sciences > Department of Earth Sciences (1999 merged into Department of Materials and Earth Sciences)
Date Deposited: 19 Nov 2008 16:03
Official URL: https://www.shaker.de/de/content/catalogue/index.asp?lang=de...
License: [undefiniert]
Referees: Riedel, Prof. Dr. Ralf and Hahn, Prof. Dr. Horst and Oehr, Dr. C.
Refereed / Verteidigung / mdl. Prüfung: 7 July 1999
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