Kober, Timo (2015)
Entwurf und Realisierung eines überlastfesten kapazitiven Silizium-Primärsensors als Messelement für hochempfindliche Differenzdruck-Prozesssensoren.
Technische Universität Darmstadt
Dissertation, Bibliographie
| Typ des Eintrags: | Dissertation |
|---|---|
| Erschienen: | 2015 |
| Autor(en): | Kober, Timo |
| Art des Eintrags: | Bibliographie |
| Titel: | Entwurf und Realisierung eines überlastfesten kapazitiven Silizium-Primärsensors als Messelement für hochempfindliche Differenzdruck-Prozesssensoren |
| Sprache: | Deutsch |
| Referenten: | Werthschützky, Prof. Dr.- Roland |
| Publikationsjahr: | 2015 |
| Ort: | München |
| Verlag: | Dr. Hut |
| Reihe: | Mikro- und Sensortechnik ; 32 |
| Zusätzliche Informationen: | Zugl.: Darmstadt, Techn. Univ., Diss. 2014 |
| Fachbereich(e)/-gebiet(e): | 18 Fachbereich Elektrotechnik und Informationstechnik > Mess- und Sensortechnik 18 Fachbereich Elektrotechnik und Informationstechnik > Institut für Elektromechanische Konstruktionen (aufgelöst 18.12.2018) 18 Fachbereich Elektrotechnik und Informationstechnik |
| Hinterlegungsdatum: | 11 Jun 2015 10:23 |
| Letzte Änderung: | 04 Nov 2015 13:57 |
| PPN: | |
| Referenten: | Werthschützky, Prof. Dr.- Roland |
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