Bergunde, T. ; Durst, F. ; Kadinski, L. ; Makarov, Yu N. ; Schäfer, M. ; Weyers, M. (1994)
Modelling of growth in a 5 X 3 inch multiwafer metalorganic vapour phase epitaxy reactor.
In: Journal of crystal growth, 145 (1)
Artikel, Bibliographie
| Typ des Eintrags: | Artikel |
|---|---|
| Erschienen: | 1994 |
| Autor(en): | Bergunde, T. ; Durst, F. ; Kadinski, L. ; Makarov, Yu N. ; Schäfer, M. ; Weyers, M. |
| Art des Eintrags: | Bibliographie |
| Titel: | Modelling of growth in a 5 X 3 inch multiwafer metalorganic vapour phase epitaxy reactor |
| Sprache: | Englisch |
| Publikationsjahr: | 1994 |
| Verlag: | Elsevier |
| Titel der Zeitschrift, Zeitung oder Schriftenreihe: | Journal of crystal growth |
| Jahrgang/Volume einer Zeitschrift: | 145 |
| (Heft-)Nummer: | 1 |
| Fachbereich(e)/-gebiet(e): | 16 Fachbereich Maschinenbau 16 Fachbereich Maschinenbau > Fachgebiet für Numerische Berechnungsverfahren im Maschinenbau (FNB) |
| Hinterlegungsdatum: | 27 Mär 2014 10:52 |
| Letzte Änderung: | 11 Jul 2018 13:31 |
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