Durst, F. ; Kadinski, L. ; Schäfer, M. (1992)
Numerische Simulation von Beschichtungsprozessen in CVD-Reaktoren.
Konferenzveröffentlichung, Bibliographie
| Typ des Eintrags: | Konferenzveröffentlichung |
|---|---|
| Erschienen: | 1992 |
| Autor(en): | Durst, F. ; Kadinski, L. ; Schäfer, M. |
| Art des Eintrags: | Bibliographie |
| Titel: | Numerische Simulation von Beschichtungsprozessen in CVD-Reaktoren |
| Sprache: | Deutsch |
| Publikationsjahr: | 1992 |
| Buchtitel: | Kongressbericht Gerätetechnik und Mikrosystemtechnik |
| Reihe: | VDI Berichte 960 |
| Zusätzliche Informationen: | VDI-Verlag |
| Fachbereich(e)/-gebiet(e): | 16 Fachbereich Maschinenbau > Fachgebiet für Numerische Berechnungsverfahren im Maschinenbau (FNB) 16 Fachbereich Maschinenbau |
| Hinterlegungsdatum: | 24 Mär 2014 16:28 |
| Letzte Änderung: | 24 Mär 2014 16:28 |
| PPN: | |
| Export: | |
| Suche nach Titel in: | TUfind oder in Google |
 |
Frage zum Eintrag |
Optionen (nur für Redakteure)
 |
Redaktionelle Details anzeigen |
Drucken
Impressum