Alff, Lambert ; Hildebrandt, Sandra ; Kober, Timo ; Teipen, R. ; Tham, A. T. ; Werthschützky, Roland (2013)
Plate-like glass structure for manufacturing pressure sensor, has recessed contour portion that is surrounded by planar edge area, and specific glass surface whose surface roughness value and diameter are set to predetermined ranges.
Norm, Patent, Standard, Bibliographie
| Typ des Eintrags: | Norm, Patent, Standard |
|---|---|
| Erschienen: | 2013 |
| Autor(en): | Alff, Lambert ; Hildebrandt, Sandra ; Kober, Timo ; Teipen, R. ; Tham, A. T. ; Werthschützky, Roland |
| Art des Eintrags: | Bibliographie |
| Titel: | Plate-like glass structure for manufacturing pressure sensor, has recessed contour portion that is surrounded by planar edge area, and specific glass surface whose surface roughness value and diameter are set to predetermined ranges |
| Sprache: | Englisch |
| Publikationsjahr: | 2013 |
| Patent-Nummer: | DE 102011084457-A1, EP 2581722-A2 |
| Fachbereich(e)/-gebiet(e): | 11 Fachbereich Material- und Geowissenschaften 11 Fachbereich Material- und Geowissenschaften > Materialwissenschaft 11 Fachbereich Material- und Geowissenschaften > Materialwissenschaft > Fachgebiet Dünne Schichten |
| Hinterlegungsdatum: | 09 Jan 2014 10:00 |
| Letzte Änderung: | 14 Dez 2020 08:19 |
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