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Preparation of Diamond-like Carbon Films by Plasma Source Ion Implantation with External Glow Discharge

Hatada, Ruriko ; Baba, Koumei ; Flege, Stefan ; Nakao, S. ; Ensinger, Wolfgang (2012)
Preparation of Diamond-like Carbon Films by Plasma Source Ion Implantation with External Glow Discharge.
In: Transactions of the Materials Research Society of Japan, 37 (2)
Artikel, Bibliographie

Typ des Eintrags: Artikel
Erschienen: 2012
Autor(en): Hatada, Ruriko ; Baba, Koumei ; Flege, Stefan ; Nakao, S. ; Ensinger, Wolfgang
Art des Eintrags: Bibliographie
Titel: Preparation of Diamond-like Carbon Films by Plasma Source Ion Implantation with External Glow Discharge
Sprache: Englisch
Publikationsjahr: Juni 2012
Verlag: The Materials Research Socitety of Japan
Titel der Zeitschrift, Zeitung oder Schriftenreihe: Transactions of the Materials Research Society of Japan
Jahrgang/Volume einer Zeitschrift: 37
(Heft-)Nummer: 2
Fachbereich(e)/-gebiet(e): 11 Fachbereich Material- und Geowissenschaften
11 Fachbereich Material- und Geowissenschaften > Materialwissenschaft
11 Fachbereich Material- und Geowissenschaften > Materialwissenschaft > Fachgebiet Materialanalytik
Hinterlegungsdatum: 15 Dez 2012 15:35
Letzte Änderung: 09 Jan 2019 13:06
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