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Einfluss der HiPIMS-Parameter bei PVD-Verfahren. – Untersuchung der strukturellen Eigenschaften von SrN-Schichten

Slomski, Elena Maja and Scheerer, Herbert and Troßmann, Torsten and Berger, Christina (2010):
Einfluss der HiPIMS-Parameter bei PVD-Verfahren. – Untersuchung der strukturellen Eigenschaften von SrN-Schichten.
In: Vakuum in Forschung und Praxis, ViP, 22 (2010), 4, S. 22 – 25. ISSN 0947-076X, 1522-2425, [Article]

Item Type: Article
Erschienen: 2010
Creators: Slomski, Elena Maja and Scheerer, Herbert and Troßmann, Torsten and Berger, Christina
Title: Einfluss der HiPIMS-Parameter bei PVD-Verfahren. – Untersuchung der strukturellen Eigenschaften von SrN-Schichten
Language: German
Journal or Publication Title: Vakuum in Forschung und Praxis, ViP, 22 (2010), 4, S. 22 – 25. ISSN 0947-076X, 1522-2425
Divisions: 16 Department of Mechanical Engineering
16 Department of Mechanical Engineering > Center for Engineering Materials, State Materials Testing Institute Darmstadt (MPA) Chair and Institute for Materials Technology (IfW)
Date Deposited: 25 Jul 2012 14:00
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