Slomski, Elena Maja ; Scheerer, Herbert ; Troßmann, Torsten ; Berger, Christina (2010)
Einfluss der HiPIMS-Parameter bei PVD-Verfahren. – Untersuchung der strukturellen Eigenschaften
von SrN-Schichten.
In: Vakuum in Forschung und Praxis, ViP, 22 (2010), 4, S. 22 – 25. ISSN 0947-076X, 1522-2425
Artikel, Bibliographie
| Typ des Eintrags: | Artikel |
|---|---|
| Erschienen: | 2010 |
| Autor(en): | Slomski, Elena Maja ; Scheerer, Herbert ; Troßmann, Torsten ; Berger, Christina |
| Art des Eintrags: | Bibliographie |
| Titel: | Einfluss der HiPIMS-Parameter bei PVD-Verfahren. – Untersuchung der strukturellen Eigenschaften von SrN-Schichten |
| Sprache: | Deutsch |
| Publikationsjahr: | Juli 2010 |
| Titel der Zeitschrift, Zeitung oder Schriftenreihe: | Vakuum in Forschung und Praxis, ViP, 22 (2010), 4, S. 22 – 25. ISSN 0947-076X, 1522-2425 |
| Fachbereich(e)/-gebiet(e): | 16 Fachbereich Maschinenbau 16 Fachbereich Maschinenbau > Fachgebiet und Institut für Werkstoffkunde - Zentrum für Konstruktionswerkstoffe - Staatliche Materialprüfungsanstalt Darmstadt (IfW-MPA) |
| Hinterlegungsdatum: | 25 Jul 2012 14:00 |
| Letzte Änderung: | 04 Apr 2019 07:31 |
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