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Einfluß der Dicke von Borosilikatglas als Substratgegenkörper auf den mechanischen Spannungszustand von piezoresistiven Silizium-Hochdruck-Messelementen

Heinickel, Patrick ; Werthschützky, Roland (2012)
Einfluß der Dicke von Borosilikatglas als Substratgegenkörper auf den mechanischen Spannungszustand von piezoresistiven Silizium-Hochdruck-Messelementen.
Sensoren und Messsysteme 2012 - 16. GMA/ITG-Fachtagung. Nürnberg (22.05.2012 - 23.05.2012)
doi: 10.5162/sensoren2012/3.1.3
Konferenzveröffentlichung, Bibliographie

Typ des Eintrags: Konferenzveröffentlichung
Erschienen: 2012
Autor(en): Heinickel, Patrick ; Werthschützky, Roland
Art des Eintrags: Bibliographie
Titel: Einfluß der Dicke von Borosilikatglas als Substratgegenkörper auf den mechanischen Spannungszustand von piezoresistiven Silizium-Hochdruck-Messelementen
Sprache: Deutsch
Publikationsjahr: 22 Mai 2012
Veranstaltungstitel: Sensoren und Messsysteme 2012 - 16. GMA/ITG-Fachtagung
Veranstaltungsort: Nürnberg
Veranstaltungsdatum: 22.05.2012 - 23.05.2012
DOI: 10.5162/sensoren2012/3.1.3
Fachbereich(e)/-gebiet(e): 18 Fachbereich Elektrotechnik und Informationstechnik > Mess- und Sensortechnik
18 Fachbereich Elektrotechnik und Informationstechnik > Institut für Elektromechanische Konstruktionen (aufgelöst 18.12.2018)
18 Fachbereich Elektrotechnik und Informationstechnik
Hinterlegungsdatum: 25 Mai 2012 06:29
Letzte Änderung: 05 Mär 2013 10:01
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