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Einfluß der Dicke von Borosilikatglas als Substratgegenkörper auf den mechanischen Spannungszustand von piezoresistiven Silizium-Hochdruck-Messelementen

Heinickel, Patrick and Werthschützky, Roland (2012):
Einfluß der Dicke von Borosilikatglas als Substratgegenkörper auf den mechanischen Spannungszustand von piezoresistiven Silizium-Hochdruck-Messelementen.
In: Sensoren und Messsysteme 2012 - 16. GMA/ITG-Fachtagung, Nürnberg, 22.05.2012 - 23.05.2012, pp. 291-300, [Conference or Workshop Item]

Item Type: Conference or Workshop Item
Erschienen: 2012
Creators: Heinickel, Patrick and Werthschützky, Roland
Title: Einfluß der Dicke von Borosilikatglas als Substratgegenkörper auf den mechanischen Spannungszustand von piezoresistiven Silizium-Hochdruck-Messelementen
Language: German
Divisions: 18 Department of Electrical Engineering and Information Technology > Institute for Electromechanical Design > Measurement and Sensor Technology
18 Department of Electrical Engineering and Information Technology > Institute for Electromechanical Design
18 Department of Electrical Engineering and Information Technology
Event Title: Sensoren und Messsysteme 2012 - 16. GMA/ITG-Fachtagung
Event Location: Nürnberg
Event Dates: 22.05.2012 - 23.05.2012
Date Deposited: 25 May 2012 06:29
Identification Number: doi:10.5162/sensoren2012/3.1.3
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