Heinickel, Patrick ; Werthschützky, Roland (2012)
Einfluß der Dicke von Borosilikatglas als Substratgegenkörper auf den mechanischen Spannungszustand von piezoresistiven Silizium-Hochdruck-Messelementen.
Sensoren und Messsysteme 2012 - 16. GMA/ITG-Fachtagung. Nürnberg (22.05.2012-23.05.2012)
doi: 10.5162/sensoren2012/3.1.3
Konferenzveröffentlichung, Bibliographie
| Typ des Eintrags: | Konferenzveröffentlichung |
|---|---|
| Erschienen: | 2012 |
| Autor(en): | Heinickel, Patrick ; Werthschützky, Roland |
| Art des Eintrags: | Bibliographie |
| Titel: | Einfluß der Dicke von Borosilikatglas als Substratgegenkörper auf den mechanischen Spannungszustand von piezoresistiven Silizium-Hochdruck-Messelementen |
| Sprache: | Deutsch |
| Publikationsjahr: | 22 Mai 2012 |
| Veranstaltungstitel: | Sensoren und Messsysteme 2012 - 16. GMA/ITG-Fachtagung |
| Veranstaltungsort: | Nürnberg |
| Veranstaltungsdatum: | 22.05.2012-23.05.2012 |
| DOI: | 10.5162/sensoren2012/3.1.3 |
| Fachbereich(e)/-gebiet(e): | 18 Fachbereich Elektrotechnik und Informationstechnik > Mess- und Sensortechnik 18 Fachbereich Elektrotechnik und Informationstechnik > Institut für Elektromechanische Konstruktionen (aufgelöst 18.12.2018) 18 Fachbereich Elektrotechnik und Informationstechnik |
| Hinterlegungsdatum: | 25 Mai 2012 06:29 |
| Letzte Änderung: | 05 Mär 2013 10:01 |
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