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Electro Thermal and Electro Statical Actuation of a Surface Micromachined Tunable Fabry-Pérot Filter

Gierl, C. ; Zogal, Karolina ; Davani, Hooman A. ; Meissner, Peter (2011)
Electro Thermal and Electro Statical Actuation of a Surface Micromachined Tunable Fabry-Pérot Filter.
Quantum Electronics and Laser Science Conference.
Konferenzveröffentlichung, Bibliographie

Kurzbeschreibung (Abstract)

We present a surface micromachined electro-thermal as well as electro-statical tunable Fabry-Pérot filter for on wafer mass production. With insertion losses <1.4dB (from standard single mode fibre (SSMF) to SSMF) and a tuning range of 112nm.

Typ des Eintrags: Konferenzveröffentlichung
Erschienen: 2011
Autor(en): Gierl, C. ; Zogal, Karolina ; Davani, Hooman A. ; Meissner, Peter
Art des Eintrags: Bibliographie
Titel: Electro Thermal and Electro Statical Actuation of a Surface Micromachined Tunable Fabry-Pérot Filter
Sprache: Englisch
Publikationsjahr: Mai 2011
Verlag: Optical Society of America
Reihe: OSA Technical Digest (CD)
Veranstaltungstitel: Quantum Electronics and Laser Science Conference
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Kurzbeschreibung (Abstract):

We present a surface micromachined electro-thermal as well as electro-statical tunable Fabry-Pérot filter for on wafer mass production. With insertion losses <1.4dB (from standard single mode fibre (SSMF) to SSMF) and a tuning range of 112nm.

Freie Schlagworte: Optical microelectromechanical devices, Resonators, Wavelength filtering devices
Fachbereich(e)/-gebiet(e): 18 Fachbereich Elektrotechnik und Informationstechnik > Institut für Mikrowellentechnik und Photonik (IMP) > Photonik und Optische Nachrichtentechnik
18 Fachbereich Elektrotechnik und Informationstechnik
18 Fachbereich Elektrotechnik und Informationstechnik > Institut für Mikrowellentechnik und Photonik (IMP)
Hinterlegungsdatum: 08 Mär 2012 16:09
Letzte Änderung: 05 Mär 2013 09:59
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