Körber, Christoph ; Suffner, Jens ; Klein, Andreas (2010)
Surface Energy Controlled Preferential Orientation of Thin Films.
In: Journal of Physics D: Applied Physics, 43 (5)
doi: 10.1088/0022-3727/43/5/055301
Artikel, Bibliographie
Kurzbeschreibung (Abstract)
The preferred crystalline orientation of magnetron sputtered transparent conducting SnO2 : Sb thin films is controlled by the oxygen content in the sputter gas. Reducing conditions, given by a low oxygen content in the sputter gas, result in a (1 0 1) orientation, while oxidizing conditions result in a (1 1 0) orientation. The change in orientation is accompanied by a transition from reduced to oxidized surface termination and explained by the dependence of surface energy on orientation and oxygen partial pressure given in Batzill and Diebold
| Typ des Eintrags: | Artikel |
|---|---|
| Erschienen: | 2010 |
| Autor(en): | Körber, Christoph ; Suffner, Jens ; Klein, Andreas |
| Art des Eintrags: | Bibliographie |
| Titel: | Surface Energy Controlled Preferential Orientation of Thin Films |
| Sprache: | Englisch |
| Publikationsjahr: | 21 Januar 2010 |
| Verlag: | IOP Publishing |
| Titel der Zeitschrift, Zeitung oder Schriftenreihe: | Journal of Physics D: Applied Physics |
| Jahrgang/Volume einer Zeitschrift: | 43 |
| (Heft-)Nummer: | 5 |
| DOI: | 10.1088/0022-3727/43/5/055301 |
| Kurzbeschreibung (Abstract): | The preferred crystalline orientation of magnetron sputtered transparent conducting SnO2 : Sb thin films is controlled by the oxygen content in the sputter gas. Reducing conditions, given by a low oxygen content in the sputter gas, result in a (1 0 1) orientation, while oxidizing conditions result in a (1 1 0) orientation. The change in orientation is accompanied by a transition from reduced to oxidized surface termination and explained by the dependence of surface energy on orientation and oxygen partial pressure given in Batzill and Diebold |
| Fachbereich(e)/-gebiet(e): | 11 Fachbereich Material- und Geowissenschaften > Materialwissenschaft > Gemeinschaftslabor Nanomaterialien 11 Fachbereich Material- und Geowissenschaften > Materialwissenschaft > Fachgebiet Oberflächenforschung 11 Fachbereich Material- und Geowissenschaften > Materialwissenschaft 11 Fachbereich Material- und Geowissenschaften |
| Hinterlegungsdatum: | 29 Okt 2011 08:09 |
| Letzte Änderung: | 25 Mär 2015 22:01 |
| PPN: | |
| Sponsoren: | This work has been supported by the German Science Foundation (contract No KL1225/4). |
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