Gassenbauer, Yvonne ; Klein, Andreas (2004)
Electronic surface properties of rf-magnetron sputtered In2O3:Sn.
In: Solid State Ionics, 173 (1-4)
doi: 10.1016/j.ssi.2004.07.065
Artikel, Bibliographie
Kurzbeschreibung (Abstract)
Thin films of tin doped indium oxide (In2O3:Sn or ITO) were deposited by rf-magnetron sputtering from ceramic In2O3/SnO2 targets. Surface electronic properties were investigated using in situ photoelectron spectroscopy (XPS, UPS). Bulk properties were analysed using electrical and optical measurements. While for a range of deposition parameters the ITO films clearly show degenerate bulk doping, the surfaces exhibit a Fermi level position well below the conduction band minimum.
| Typ des Eintrags: | Artikel |
|---|---|
| Erschienen: | 2004 |
| Autor(en): | Gassenbauer, Yvonne ; Klein, Andreas |
| Art des Eintrags: | Bibliographie |
| Titel: | Electronic surface properties of rf-magnetron sputtered In2O3:Sn |
| Sprache: | Englisch |
| Publikationsjahr: | September 2004 |
| Titel der Zeitschrift, Zeitung oder Schriftenreihe: | Solid State Ionics |
| Jahrgang/Volume einer Zeitschrift: | 173 |
| (Heft-)Nummer: | 1-4 |
| DOI: | 10.1016/j.ssi.2004.07.065 |
| Kurzbeschreibung (Abstract): | Thin films of tin doped indium oxide (In2O3:Sn or ITO) were deposited by rf-magnetron sputtering from ceramic In2O3/SnO2 targets. Surface electronic properties were investigated using in situ photoelectron spectroscopy (XPS, UPS). Bulk properties were analysed using electrical and optical measurements. While for a range of deposition parameters the ITO films clearly show degenerate bulk doping, the surfaces exhibit a Fermi level position well below the conduction band minimum. |
| Freie Schlagworte: | Indium tin oxide; Surface; Photoemission; Stoichiometry |
| Zusätzliche Informationen: | SFB 595 D3 |
| Fachbereich(e)/-gebiet(e): | 11 Fachbereich Material- und Geowissenschaften 11 Fachbereich Material- und Geowissenschaften > Materialwissenschaft 11 Fachbereich Material- und Geowissenschaften > Materialwissenschaft > Fachgebiet Oberflächenforschung Zentrale Einrichtungen DFG-Sonderforschungsbereiche (inkl. Transregio) > Sonderforschungsbereiche > SFB 595: Elektrische Ermüdung DFG-Sonderforschungsbereiche (inkl. Transregio) > Sonderforschungsbereiche > SFB 595: Elektrische Ermüdung > D - Bauteileigenschaften DFG-Sonderforschungsbereiche (inkl. Transregio) > Sonderforschungsbereiche > SFB 595: Elektrische Ermüdung > D - Bauteileigenschaften > Teilprojekt D3: Funktion und Ermüdung oxidischer Elektroden in organischen Leuchtdioden DFG-Sonderforschungsbereiche (inkl. Transregio) > Sonderforschungsbereiche DFG-Sonderforschungsbereiche (inkl. Transregio) |
| Hinterlegungsdatum: | 16 Sep 2011 13:18 |
| Letzte Änderung: | 21 Mär 2015 10:42 |
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